| Mikromechanik: Mikrofertigung Mit Methoden Der Halbleitertechnologie Softcover Repri Edition Contributor(s): Heuberger, Anton (Editor) |
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ISBN: 3642466222 ISBN-13: 9783642466229 Publisher: Springer OUR PRICE: $80.74 Product Type: Paperback - Other Formats Language: German Published: June 2012 |
| Additional Information |
| BISAC Categories: - Technology & Engineering | Industrial Engineering - Technology & Engineering | Mechanical - Technology & Engineering | Electronics - Microelectronics |
| Dewey: 620.1 |
| Physical Information: 1.05" H x 6.69" W x 9.61" (1.82 lbs) 501 pages |
| Descriptions, Reviews, Etc. |
| Publisher Description: Mikromechanik behandelt die physikalischen Grundlagen dieser jungen, zukunftstr chtigen Disziplin, ihre Technologie, aufbauend auf der Siliziumtechnologie, und ihre Nutzung in den verschiedensten Anwendungen der Bereiche Sensorik, Aktuatorik und integrierte Optoelektronik. Das Buch ist unentbehrlich f r jeden, der sich intensiv mit der Mikromechanik befassen will; f r den Studierenden ebenso wie f r den Ingenieur in der Praxis oder den interessierten Laien. |
