| Simulation und Herstellung siliziumbasierter integriert-optischer Sternkoppler Contributor(s): Henke, Christian (Author) |
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ISBN: 3838605993 ISBN-13: 9783838605999 Publisher: Diplom.de OUR PRICE: $80.66 Product Type: Paperback Language: German Published: January 1998 |
| Additional Information |
| BISAC Categories: - Technology & Engineering | Electrical |
| Physical Information: 0.22" H x 5.83" W x 8.27" (0.29 lbs) 92 pages |
| Descriptions, Reviews, Etc. |
| Publisher Description: Inhaltsangabe: Einleitung: Die optische Nachrichtentechnik gewinnt in der Telekommunikation mit dem wachsenden Bedarf an hohen bertragungsraten und der Globalisierung der Informationsverarbeitung an Bedeutung. Die Bauteile der integrierten Optik sind aufgrund ihrer Anwendungsm glichkeiten innerhalb der optischen Nachrichtentechnik von gro em Interesse, da bei Verteilungs- und Schaltfunktionen auf die Umwandlung in elektrische Signale verzichtet werden kann. Das im Rahmen dieser Diplomarbeit betrachtete Bauteil, der passive optische Sternkoppler, findet vorwiegend in lokalen Netzen seine Anwendung. Die hierbei verwendbaren Materialien m ssen gew hrleisten, dass die Lichtwellenleiter geringe bertragungsverluste durch D mpfung und Dispersion besitzen und reproduzierbar herzustellen sind. Die M glichkeit der Kopplung an andere optische Komponenten wie Glasfasern, Lichtquellen und Photodetektoren ist ebenso wichtig. Diese Forderungen erf llen verschiedene Substratmaterialien wie z. B. Glas, Polymere und nicht zuletzt Silizium. Die Herstellung des Sternkopplers auf Siliziumsubstrat hat verschiedene Vorteile. Standardsiliziumwafer besitzen eine qualitativ hochwertige Oberfl che und sind deshalb ein geeignetes Substrat f r optische Wellenleiter. Die Siliziumtechnologie ist gut erforscht und zur Abscheidung und Strukturierung der Lichtwellenleiterschichten kann auf Verfahren der Halbleitertechnologie zur ckgegriffen werden. Ein weiterer Vorteil ist das einfach herzustellende, arteigene Oxid des Siliziums mit guten optischen Eigenschaften. Aufgrund des gro en finanziellen und zeitlichen Aufwandes ist es sinnvoll, vor der technologischen Realisierung eine simulatorische Opitimierung durchzuf hren. Aus diesem Grund teilt sich diese Diplomarbeit zu etwa gleichen Teilen in einen simulatorischen und einen technologischen bzw. messtechnischen Teil auf. Ziel dieser Diplomarbeit ist es, einen integriert optischen Sternkoppler auf Siliziumsubstrat herzustellen, der unabh ngig v |
