Werkzeuge Und Methoden Zur Automatisierung Der Seriellen Nanomontage Im Rasterelektronenmikroskop Contributor(s): Wich, Thomas (Author) |
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ISBN: 383252035X ISBN-13: 9783832520359 Publisher: Logos Verlag Berlin OUR PRICE: $54.15 Product Type: Paperback Language: German Published: September 2008 |
Additional Information |
BISAC Categories: - Technology & Engineering |
Physical Information: 238 pages |
Descriptions, Reviews, Etc. |
Publisher Description: Die fortschreitende Miniaturisierung in der Mikrosystemtechnik und der Boom der Nanotechnologie verlangen nach ausgefeilten Technologien zur Analyse, Manipulation, Handhabung und Montage kleinster Bauteile und Bau- gruppen. Das vorliegende Buch analysiert die Arbeitsumgebung und die Herausforderungen, die an solche Montagesysteme gestellt werden. Darauf aufbauend werden Werkzeuge und Methoden vorgestellt, die die Automatisierung solcher Fertigungsprozesse auf der Nanoskala ermoglichen. |